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北京科仪承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目通过初步验收

来源:北京科仪|2018-04-18|        【打印】【关闭】

  4月13日,中国科学院在北京中科科仪股份有限公司主持召开了国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目初步验收会议。国科控股总经理索继栓,中科院条财局副局长曹凝,清华大学朱静院士及验收组专家,北京科仪董事长兼项目负责人张永明及项目相关人员出席会议。

  会上,专家组认真听取了项目牵头单位和任务承担单位的总结汇报,审阅了相关资料,进行了现场检查,经质询和讨论,一致认为项目按期完成了任务书规定的项目目标及各项考核指标,通过初步验收。

  与会验收专家和领导对本项目成果给予高度评价和充分肯定,项目突破了扫描电镜高分辨电子光学成像系统设计、30kV场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造、低像差物镜制造工艺、场发射电子源制造、系统减振及抗干扰技术、控制软件开发等多项关键技术,开发成功国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜,并在新能源、纳米材料、半导体技术、生命科学、环境监测等方面进行了广泛应用。项目申请国家发明专利30项、软件著作权4项,申请相关国家标准2项,发表相关论文14篇,建立了覆盖国内扫描电镜研制和应用优势单位的人才队伍。通过该项目实施,探索了场发射枪扫描电镜这一“量大面广”大型通用科学仪器的发展模式,实现了产、学、研、用等方面的相互促进。

  项目立足于我国仪器制造产业链,整合多方资源,首次研制成功场发射枪扫描电镜并进行产业化,使我国自主品牌扫描电镜进入了高端市场,打破了完全依赖进口的局面,促进了我国电子光学类仪器的发展,为国家民族工业的进步做出贡献。项目对提高我国重大工程和战略新兴行业高端装备的国产化和自主化水平,也发挥积极的推动作用。

验收会现场